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廣州潽拓光--英國愛(ài)德華iH1800干式真空泵

概述：愛(ài)德華半導體真空泵已經(jīng)過(guò)現場(chǎng)應用證明，可以按照高工作標準運行。通過(guò)延長(cháng)使用壽命、提高運行時(shí)間并提高生產(chǎn)率，同時(shí)減小占地面積、降低運行成本，實(shí)現了高的可靠性和性能。

iH 系列為難以執行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。英國愛(ài)德華iH1800干式真空泵維修

技術(shù)參數如下：

英國愛(ài)德華iH1800干式真空泵功能和優(yōu)勢：優(yōu)化了設施消耗。無(wú)需預防性維護。懸臂軸和特殊的異型轉子便于顆粒的處理。在節省功率的同時(shí)提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩定性。耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。整體式軸桿無(wú)需使用電機聯(lián)結器，而第五級泵消除了使用消音的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積。

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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阿爾卡特 adixen Alcatel ATH1300M

ATH 1300 MT

ATH 1600 MT

Integral heater band

Maintaining the pumps internal surface up to 75°C

to prevent the condensation effect.

Temperature regulated by the ACT controller, or by

the customer device.

ATH1300_1600_M_MT_Manual參數如下

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        Agilent安捷倫Turbo-V903渦輪分子泵維修，AgilentTurbo-V903安捷倫渦輪分子泵進(jìn)氣法蘭口ISO160F，出氣法蘭口KF25，抽速可達到680L/s

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